Silica sol 硅溶胶应用
纳米二氧化硅抛光液的性能指标对抛光工艺的影响关系
【摘要】:
①抛光液中纳米二氧化硅胶粒的粒径及分布——影响粗糙度、摩擦力;
②抛光液的pH值——影响腐蚀速率;
③抛光液分散的稳定性——使抛光液不团聚;
④抛光液的粘度——影响抛光液的流动性。
关键词: